電致發光作為發射技術被用來定量分析氮氣，離子發生器產生的等離子隨著樣氣氬氣或氦氣進入電離池，電子或離子因碰撞產生激發態，氣體原子或分子在電場中被電子和離子的動能加速而產生了發光現象。當氮氣濃度變化時，譜線會隨之改變，光線通過能區分這些譜線的光學過濾器，終，光電二極管將光線轉換為電流，產生與樣氣中氮氣的濃度成比例的電信號，電信號經放大器放大后儀器顯示氮氣濃度值。

在線微量氮分析儀的用途：

1、氬氣純化裝置

2、低溫槽車裝載站

3、槽車裝填及氣瓶品質控制

4、空分裝置

5、特氣實驗室

6、焊接氣體控制

7、氣體管理系統

8、氦氣液化裝置

9、過程控制

10、鋼鐵工業